日本雅馬拓DTN450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐

更新時(shí)間：2023-11-13

簡要描述：

合測(cè)實(shí)業(yè)為日本雅馬拓DTN450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐一級(jí)代理商/特約經(jīng)銷商。DTN450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐最高工作溫度500℃、潔凈度100 級(jí)、氧濃度低于20ppm，主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓（光刻膠PI、PBO 固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火處理等。

型號(hào)：廠商性質(zhì)：代理商瀏覽量：1204

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日本雅馬拓DTN450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐產(chǎn)品特點(diǎn)：

潔凈度100級(jí)、氧濃度低于20ppm的氣氛爐，主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓等。

最高工作溫度500℃。

采用耐熱高性能高效過濾器，可在潔凈的環(huán)境下進(jìn)行高溫烘烤。

高氣密性的壓力箱構(gòu)造，氧濃度到達(dá)時(shí)間短，N2 消耗量極低。

磁密封保持高氣密性，采用水冷機(jī)構(gòu)保護(hù)密封部件免受熱量影響。

可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫，升降溫速率可調(diào)節(jié)。

標(biāo)準(zhǔn)裝備有廢液回收裝置，對(duì)氣體進(jìn)行冷卻回收。

日本雅馬拓DTN450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐技術(shù)參數(shù)：

型號(hào)	DTN450C	DTN650C
外形尺寸（寬× 深× 高mm）	1240×1010×1750	1450×1060×1960
內(nèi)尺寸（寬× 深× 高mm）	450×450×450	660×500×660
內(nèi)部容積	91L	216L
溫度范圍	室溫+50 ～ 500℃
溫度調(diào)節(jié)精度	±1.0℃（at500℃）
溫度分布精度	±8.0℃（at500℃）
最高溫度到達(dá)時(shí)間	約110 分
氧濃度	20ppm 以下
氧濃度到達(dá)時(shí)間	≤ 20 分（250L/min 氮?dú)猓?/td>	≤ 25 分（250L/min 氮?dú)猓?/td>
潔凈度	溫度恒定時(shí)100 級(jí)
加熱方式	不銹鋼加熱管
冷卻機(jī)構(gòu)	不銹鋼冷卻水換熱器
HEPA 過濾器	集塵效率：0.3um 粒子99.97% 以上
排氣口	40KF 法蘭
氮?dú)馊肟?/td>	Rc1/2
冷卻水入口	Rc3/4
熱水出口	Rc3/4，2 個(gè)
電源（50/60Hz）額定電流	3 相AC380V 20A	3 相AC380V 27A

安全性：

門檢測(cè)開關(guān)

溫度過升防止器

氧濃度異常安全裝置

氮?dú)鈮毫z測(cè)

氮?dú)饬髁繖z測(cè)

冷卻水流量檢測(cè)

漏水傳感器

過電流漏電漏電保護(hù)開關(guān)

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